RF generátor Model 300

Wireframe placeholder image

Výrobce: Elite (USA)
Rok výroby: 2020
Obsluha: RNDr. Radek Fajgar, CSc.
Ing. Martin Koštejn, Ph.D.
Výzkumná skupina: Výzkumná skupina laserové chemie
Oddělení: Chemie materiálů

Popis

Generace RF plazmatu 13.56 MHz s přizpůsobovacím matchboxem pro přípravu křemíkových vrstev

Obsluha

RNDr. Radek Fajgar, CSc. Vedoucí výzkumné skupiny, Vědecký pracovník

Ing. Martin Koštejn, Ph.D. Vědecký pracovník

Výzkumná skupina laserové chemie

Chemie materiálů