Depozice tenkých vrstev technikami laserové ablace
Skupina se dlouhodobě věnuje depozici tenkých vrstev laserovou ablací. K tomu jsou využívány excimerový ArF a infračervený TEA CO2 laser. Při depozici ve vysokém vakuu (řádově 10-3 Pa a nižším) jsou připravovány tenké vrstvy oxidů, silicidů, kovů apod. jednoduchou ablací pevného terče. Vzhledem k vysokým rychlostem chladnutí jsou připravené vrstvy amorfní. Krystalizací při vyšších teplotách se modifikují a optimalizují jejich vlastnosti pro fotokatalytické nebo senzorické aplikace.
Depozice nanostrukturovaných materiálů technikou reaktivní laserové ablace
Při laserem indukované depozici materiálů v reaktivním plynu (do 10 Pa) dochází k interakci mezi ablaovaným materiálem a molekulami plynu, vzájemné reakci a depozici materiálu s odlišným složením, než je složení pevného terče. Vzhledem k pomalejšímu průběhu depozice a nukleaci před dopadem materiálu na substrát je připravený materiál většinou nanokrystalický. Takto jsou např. připravovány oxidy, suboxidy nebo oxykarbidy ablací elementárního kovu v atmosféře kyslíku, silicidy nebo germanidy ablací kovu v silanu/germanu apod.
Chemická depozice z plynné fáze (CVD)
Pomocí různých technik CVD (low pressure CVD, subatmospheric CVD, chemical vapor transport - CVT) jsou ve Výzkumné skupině laserové chemie připravovány nanostrukturované depozity z prekurzorů křemíku a germania. Po kompletní strukturní a materiálové charakterizaci jsou tyto nanostruktury – hlavně nanodráty – dále studovány pro své elektronické a (foto)elektrochemické vlastnosti. V současné době jsou studovány (foto)elektrochemické vlastnosti křemíkových depozitů a jejich použitelnost pro generování jednoduchých uhlovodíků redukcí oxidu uhličitého a také pro štěpení vody.
Další témata výzkumu:
- Příprava nových materiálů radiofrekvenčními technikami
- Fotoelektrochemická, fotokatalytická a senzorická charakterizace
CuSix katoda pro elektrochemický systém na redukci CO2
CVD depoziční metoda byla použita na přípravu katody ze silicidu mědi CuxSi (3<x<5). Butylsilan BuSiH3 procházel v křemenné trubce nad Cu substrátem a byl tepelně rozkládán při teplotě 550 °C a tlaku 300-400 Pa a vytvářel pórézní strukturu ze silicidu mědi a nanostruktury s převážně nano- a mikrodráty. Při různých průtocích prekursoru narostly dvě různé varianty katalyzátoru – jeden měl na sobě narostlou vrstvu SiCx, zatímco druhý ne. Obě varianty si uchovaly katalytickou aktivitu bez podstatného snížení i po 720 hodinách elektrochemického měření. CuxSi katalyzátor vykázal vysokou selektivitu vůči etanolu (~79 %) v neutrálním elektrolytu nasyceném CO2 a vysokou selektivitu vůči kyselině octové (~72 %) v alkalickém prostředí.
- Dřínek V., Dytrych P., Fajgar R., Klementová M., Kupčík J., Kopeček J., Svora P., Koštejn M., Jandová V., Soukup K., Beranek R.: A robust and high performance copper silicide catalyst for electrochemical CO2 reduction. Materials Advances, 2024. DOI
Syntéza CrGex nanodrátů
Nanodráty byly připraveny pomocí CVD techniky z prekursorů GeH4 a Cr(acac)3. Při teplotě 110 °C se vypařoval Cr(acac)3, který se v proudu GeH4 přiváděl do horké zóny 500 °C v peci, kde docházelo k vlastní pyrolýze. Vzniklé nanodráty se skládají z krystalického jádra z elementárního germania a amorfního obalu z CrGex slitiny o složení [Cr]:[Ge]=1:(6-7). Odpor systému nanodrát-podložka je 2,7 kW.cm, což nejspíše indikuje hluboká záchytná centra v zakázaném pásu Ge generovaná přítomností Cr atomů. Kromě nanodrátů vznikaly během CVD v depozitu také Ge nanokuličky, které pravděpodobně sloužily jako iniciační centra pro růst CrGex nanodrátů.
- Dřínek V., Tiagulskyi S., Yatskiv R., Grym J., Fajgar R., Jandová V., Koštejn M., Kupčík J., Chemical vapor deposition of germanium-rich CrGex nanowires. Beilstein J. Nanotechnol. 12, 1365–1371, 2023. DOI
Příprava tenkých vrstev feromagnetických silicidů a germanidů manganu
Reaktivní laserovou ablací Mn terče za přítomnosti několika Pa reaktivního plynu (SiH4 či GeH4) byly připraveny silicidy a germanidy manganu. Připravované vrstvy jsou převážně amorfní, ale při následném žíhání na 600 °C (silicidy) či na 350 °C (germanidy) dochází ke krystalizaci a vzniku nanokrystalitů. V závislosti na podmínkách přípravy, především tlaku plynného prekurzoru a teplotě žíhání, lze připravit různé krystalické fáze silicidů (SiMn, Mn4Si7, Mn5Si3, Mn5Si2) a germanidů (GeMn a Mn5Ge3). S postupující krystalizací jsou u těchto materiálů pozorované rostoucí feromagnetické vlastnosti.
Příprava nových struktur slitiny Yb/Si
Technikou pulsní laserové ablace děleného terče Si/Yb v peci při teplotách 800 a 1000 °C byly připraveny nanostruktury silicidu ytterbia. Vzniklý nanostrukturovaný depozit obsahoval nanodráty, nanotyčinky a nanočástice. Jednotlivé nanočástice (800 °C) byly tvořeny slitinou Yb3Si5, zatímco nanotyčinky byly z materiálu s plošně centrovanou krychlovou strukturou nebo s monoklinickou fází, jejíž krystalová struktura není dosud známa z Yb/Si fázového diagramu. Při teplotě 1000 °C jsou studované nanodráty a nanotyčinky amorfní a pokryté nanokrystaly s krystalickou strukturou podobnou nanotyčinkám s plošně centrovanou krychlovou mřížkou. Nanodráty (1000 °C) jsou při laboratorní teplotě polovodivé s vodivostí 132,9 W.cm, která je srovnatelná se silně dopovaným křemíkem. Na identifikaci nových struktur se spolupracuje s dalšími ústavy.